中国EUV差距或达10-15年,但DUV进展考验西方出口管制关键事件
China's EUV gap may stretch 10–15 years, but DUV gains test Western export controls
中文摘要
据瑞银和蔡司评估,中国在开发国产极紫外(EUV)光刻技术方面可能仍落后10至15年,凸显其技术差距。同时,中国在深紫外(DUV)光刻领域取得进展,这正在考验西方的出口管制措施。
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