中欣晶圆成功拉制12英寸重掺砷、重掺硼〈111〉晶棒
中文摘要
中欣晶圆近日成功拉制出企业首根12英寸重掺砷、重掺硼〈111〉晶棒，包含N型重掺砷和P型重掺硼两类产品，目标电阻率达mΩ·cm级低阻区间，可匹配高端功率器件外延衬底对低电阻、高均匀性的要求，完善国产12英寸高端重掺硅片产品体系。
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中欣晶圆近日成功拉制出企业首根12英寸重掺砷、重掺硼〈111〉晶棒，包含N型重掺砷和P型重掺硼两类产品，目标电阻率达mΩ·cm级低阻区间，可匹配高端功率器件外延衬底对低电阻、高均匀性的要求，完善国产12英寸高端重掺硅片产品体系。
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